リニアゲージ(ハイデンハイン社製)
ハイデンハイン社は、各種(リニア、角度、ロータリー)エンコーダー、リニアゲージ、デジタル表示カウンターを開発、製造しております。 ハイデンハイン社は、工作機械、オートメーション、電子産業、半導体製造装置とさまざまな産業に製品を供給しております。
リニアゲージ
- CT、MT、STシリーズ
- 測定長:12mm、25mm、30mm、60mm、100mm
- システム精度:±0.03μm(直線誤差補正後) 〜 ±1μm*1
- 推奨分解能:0.005μm〜1μm(表示カウンターによる)*1